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  • 从显微到光刻,数值孔径如何改写现代光学技术的边界

    从显微到光刻,数值孔径如何改写现代光学技术的边界

    在追求极致分辨率的道路上,光学系统始终面临着一个根本性矛盾:既要捕捉更多光信号来提升清晰度,又要避免光线散射导致的像差,1886年,物理学家恩斯特·阿贝(Ernst Abbe)在蔡司光学实验室提出的数值孔径(Numerical Aperture,NA)理论,为解决这个矛盾建立了数学框架,这个表面看似简单的参数……

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